產品介紹

真空腔體（Vacuum chamber）是真空系統的核心，更是決定真空設備性能好壞的關鍵。我司的真空腔體可以針對客戶的具體應用定制加工，主要應用于IBE、IBD、ALD 、ALE 、PECVD等。
常用的材料有不銹鋼、鋁合金、碳鋼等，涉及的表面處理有焊接、噴砂、拋光、電解拋光、陽極氧化等，另外也可以依照客戶的需求進行熱處理應力消除或是振動應力消除等，為客戶提供更完整的真空制程解決方案。